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哪些因素會(huì )造成STS壓力傳感器精度的誤差呢?
點(diǎn)擊次數:847 更新時(shí)間:2020-08-25
  近經(jīng)常有人問(wèn)我們STS壓力傳感器的綜合精度和非線(xiàn)性誤差之間有什么關(guān)系,綜合精度包含哪些方面,哪些因素會(huì )造成STS壓力傳感器精度的誤差呢?今天我來(lái)給大家說(shuō)說(shuō)這其中的關(guān)系,其實(shí)造成傳感器誤差的因素有很多,下面我們說(shuō)四個(gè)無(wú)法避免的誤差,這是傳感器的初始誤差。
  1、非線(xiàn)性誤差:這是一個(gè)對STS壓力傳感器初始誤差影響較小的因素,該誤差的產(chǎn)生原因在于硅片的物理非線(xiàn)性,但對于帶放大器的傳感器,還應包括放大器的非線(xiàn)性。線(xiàn)性誤差曲線(xiàn)可以是凹形曲線(xiàn),也可以是凸形曲線(xiàn)稱(chēng)重傳感器。
  2、偏移量誤差:由于STS壓力傳感器在整個(gè)壓力范圍內垂直偏移保持恒定,因此變換器擴散和激光調節修正的變化將產(chǎn)生偏移量誤差。
  3、靈敏度誤差:產(chǎn)生誤差大小與壓力成正比。如果設備的靈敏度高于典型值,靈敏度誤差將是壓力的遞增函數。如果靈敏度低于典型值,那么靈敏度誤差將是壓力的遞減函數。該誤差的產(chǎn)生原因在于擴散過(guò)程的變化。
  4、滯后誤差:在大多數情形中,STS壓力傳感器的滯后誤差可以忽略不計,因為硅片具有很高的機械剛度。一般只需在壓力變化很大的情形中考慮滯后誤差。
 

  STS壓力傳感器的這個(gè)四個(gè)誤差是無(wú)法避免的,我們只能選擇高精度的生產(chǎn)設備,利用高新技術(shù)來(lái)降低這些誤差,還可以在出廠(chǎng)的時(shí)候進(jìn)行的誤差校準,盡大的可能來(lái)降低誤差以滿(mǎn)足客戶(hù)的需要。
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